|
|
Автор: Розанов Л. Н.
Издательство: Машиностроение
Год издания: 1975
Количество страниц: 336
Язык: русский
Формат: DJVU
Размер: 5 Мб
Каталожный номер: 86260
|
В книrе изложеиы вопросы, связанные с проектированием и эксплуатацией вакуумноrо оборудоваиия. Рассмотрены теоретические основы вакуумной техники. Описаны конструкции элементов вакуумных систем, откачных машин, напылительных установок.
|
|