Металлизация ультрабольших интегральных схем
	Категория: Технические науки » Электроника, радиотехника, связь
		Автор: Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д., Шевяков В.И. Издательство: Бином. Лаборатория знаний Год издания: 2009 isbn: 978-5-94774-904-5 Количество страниц: 277 Язык: русский Формат: DJVU Размер: 3 Мб Каталожный номер: 97097	Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области. Ключевые теги: электроника
	Похожие публикации: Основы технологии микромонтажа интегральных схем Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их ... Схемотехника электронных систем. Аналоговые и импульсные устройства Применение интегральных микросхем памяти. Справочник Источники питания. Инверторы, конверторы, линейные и импульсные стабилизато ... Основы полупроводниковой электроники. Учебное пособие Физика полупроводниковых приборов микроэлектроники Функциональные аналоговые интегральные микросхемы Эквивалентные схемы и параметры полупроводниковых приборов Основы микроэлектроники
	Ссылки на файлообменные сервера Размер архива в Mb http://www.mediafire.com/download/7cr7rzl2dm0d6e7/Metalliz_ultrabol_integr_shem.rar 3 http://rghost.ru/47011682 3 http://webfile.ru/6579976 3 http://rusfolder.com/36995045 3
	Оцените эту публикацию!
	0 Опубликовал: molykote | 27-06-2013, 05:51 | Просмотров: 750   Комментарии (0)  Печать