Микролитография
	Категория: Естественные науки » Науки о Земле » Геология, полезные ископаемые
		Автор: Моро У. Издательство: Мир Год издания: 1990 Количество страниц: 1237 Язык: русский Формат: PDF Размер: 85 Мб Каталожный номер: 79716	Книга крупного американского специалиста по сути представляет собой энциклопедию, посвященную микролитографии, материалам для полупроводниковой технологии и вспомогательным технологическим операциям. В 1-й части рассматриваются различные виды резистов, методы их нанесения, сушки, экспонирования, травления, а также процессы рентгеновской, ионно-лучевой, электронно-лучевой и фотолитографии. Во 2-й части рассматриваются процессы обработки экспонированных резистных структур: проявление, задубливание, травление, методы и возможности безрезистной технологии, методы контроля технологических процессов. Для специалистов по технологии микроэлектроники, студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специальностей. Ключевые теги: Микролитография, методы, технологии, микроэлектроника, электронно, лучевой, травление, энциклопедия,
	Похожие публикации: Инстрyментальные материaлы Электрофизические и электрохимические методы обработки материалов. Т. 1. Об ... Планирование эксперимента при оптимизации процессов химической технологии. ... Химия и технология редких и рассеянных элементов. Часть 2 Химия и технология редких и рассеянных элементов. Часть 3 Основные процессы и аппараты химической технологии Процессы и аппараты химической технологии. В 2-х кн. Ч.2 Процессы и аппараты химической технологии. В 2-х кн. Ч.1 Преобразование Хартли Электрохимические системы
	Ссылки на файлообменные сервера Размер архива в Mb http://turbobit.net/oaa246912lik.html 85 http://depositfiles.com/files/ab97q1y0o 85
	Оцените эту публикацию!
	0 Опубликовал: Palladin | 27-05-2012, 06:49 | Просмотров: 672   Комментарии (0)  Печать